тонкий слой на поверхности полупроводника или под контактом полупроводника с металлом, обладающий проводимостью, противоположной типу проводимости в объёме (слой типа n в полупроводнике p-типа или слой типа p в полупроводнике n-типа). Инверсный слой может возникать также под действием внешнего электрического поля, как это происходит, например, в транзисторе полевом с затвором изолированным и индуцированным каналом.