затвор, выполненный из поликристаллического кремния в толще диэлектрика и широко используемый в МДП-транзисторах и приборах с зарядовой связью (ПЗС). Применение кремниевого затвора вместо металлического способствует снижению емкостей затвор—сток и затвор—исток, а значит и повышению быстродействия, исключает необходимость увеличения расстояния между электродами во избежание замыканий, т. е. обеспечивает повышение плотности упаковки.